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Cryo-FESEM(FIB)

Cryo - Field Emission Scanning Electron Microscope

모델
Crossbeam 550
기기실
주사전자현미경실
호실
201동 209호
담당자
이지영
연락처
02-880-4823
이메일
duck816@snu.ac.kr
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· 모든 사용료는 '부가세 별도' 입니다.

· 소속구분에 따른 적용비율 (일부기기 제외) : 교육기관 100%, 국공립기관 150%, 기업체 200%

상세정보
모델명 Crossbeam 550
구입년도 2020
제조국 독일
제조회사 Carl Zeiss
동작원리 전자빔을 시료에 주사하면 가속된 전자들이 시료의 표면에 충돌하게 된다. 충돌한 전자와 시료 표면에서 몇 가지의 상호작용에 의해 전자 시료의 정보를 가지고 튀어나온다. 튀어나온 전자를 검출기가 받아 이미지화하여 시료표면을 관찰할 수 있다.
갈륨이온을 시료에 주사하면 주사한 영역에 시료의 원자를 뜯어 낼 수 있다. 이를 이용하여 시료 표면을 절단하거나 가공이 가능하다.
극저온 상태에서 이미징을 하면 전자빔에 의한 열 손실을 줄여 이미징을 할 수 있다.
장비성능 SEM
- source :Schotty emitter
- accelerate voltage : 200V~30kV
- resolution : 0.7nm at 15kV
- beam current : 10pA~100nA

FIB
source : LMIS
resolution: 3nm at 30kV
accelerate voltage : 1kV~30kV
beam current : 1pA~100nA

detector : inlens SE, inlens EsB, ETD, BSD, STEM

GIS : Pt, C
용도 전처리하지 않은 생물 조직의 관찰
액상 이멀젼 관찰
soft material milling
비고
요금정보
예약시간 단위 1시간 최대 예약 가능 시간 제한없음
사용료 직접사용 -
조작대행 -
분석의뢰 150,000원
기기사용료 설명 Cryo SEM : 기본사용료(50,000원) + 150,000원/시간

Cryo mliing : 기본사용료(50,000원) + 300,000원/시간
의뢰사용료 설명 Cryo TEM용 시편제작 : 1,000,000원/시편(3개부터 시편당 500,000원 추가), 최소 2일 소요
적용비율(%) 적용비율:
기기사용료 적용비율
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구분 적용비율(%)
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교육기관 100
국공립기관 150
기업체 200
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